ОАО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» является государственным метрологическим центром, который проводит исследования и разработки по следующим направлениям:
- метрология и стандартизация в нанотехнологиях;
- стандартные образцы, методики калибровки и измерений для нанотехнологий и наноиндустрии, обеспечивающие прослеживаемость результатов конкретных измерений к эталону единицы СИ;
- исследование особенностей взаимодействия зондов измерительных устройств, пучков заряженных частиц, оптического и рентгеновского излучений с наноструктурированными объектами.